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【设备更新推荐】椭圆偏振光谱仪——UVISEL PLUS

2025年03月31日 14:12:33来源：HORIBA 科学仪器事业部

　　产品名称：椭圆偏振光谱仪

　　产地：法国

　　型号：UVISEL PLUS

　　典型用户：NASA 戈达德太空飞行中心

　　 01 　仪器用途及应用范围：

　　UVISEL 是 20 多年技术积累和发展的结晶，即使在透明的基底上也能对超薄膜进行精确的测量。作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，它采用了 PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比，能提供更好的稳定性和信噪比。

　　 先进功能材料

　　• 薄膜厚度、光学常数表征

　　• 材料/ 表面改性研究

　　• 粗糙度、孔隙率表征

　　• 渐变层、界面层等分析

　　• 穿过率、反射率曲线测量

　　汽车

　　• 薄膜厚度、光学常数表征

　　• 表面粗糙度、孔隙率表征

　　• 渐变层、界面层分析

　　• 透射率、反射率测量

　　• 涂层及镀层分析

　　 半导体材料

　　• 硅片上SiO? 薄膜厚度监控

　　• 光刻胶n，k(190-2100nm)

　　• SiN，SiO? 等膜厚测试

　　• 第三代半导体外延薄膜厚度

　　 能源/光伏

　　• 薄膜厚度、光学常数表征

　　• 工艺对镀膜的影响分析

　　• 渐变层、界面层等分析

　　• 膜层不均匀性成像分析

　　• 在线监测

　　 02 　产品特点：

　　• 50 KHz 高频 PEM 相调制技术，测量光路中无运动部件

　　• 具备超薄膜所需的测量精度、超厚膜所需的高光谱分辨率

　　• 多个实用微光斑尺寸选项

　　• 可用于在线实时监测

　　• 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等

　　• 配置灵活，测量范围可扩展至 190 nm~2100 nm

　　 03 　相关用户应用推荐：

　　• 小小的薄膜居然在太空望远镜上这么重要？| 前沿应用

　　• 一键操作，全自动分析——显示面板多维度薄膜分析 | 前沿应用

　　• 多维度半导体薄膜材料分析——椭圆偏振光谱表征方案 | 光谱技术头条

　　 04 　索取样本、联系报价

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