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2026年8月31日，备受瞩目的第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC）在无锡太湖国际博览中心盛大启幕。本届半导体设备年会，汇聚了半导体设备制造商、传感器制造企业及产业链上下游企业，科研院所的专家学者，分享科研成果与实际应用案例，共同探讨如何通过技术创新赋能产业升级。
本次盛会，Kanomax携多款检测仪器重磅亮相A6-726展位，涵盖尘埃粒子计数器、热式风速仪、风速变送器等产品，赋能半导体生产洁净管控、气流优化等核心应用。
展台前人流涌动，半导体材料企业的研发人员、Fab厂的技术负责人纷纷驻足咨询，加野工作人员耐心细致地介绍仪器的性能特点、应用场景，并现场进行产品演示，让大家直观感受产品的出色性能。
随着国内半导体产业加速迭代，先进制程对生产环境洁净管控提出愈发严苛的要求。晶圆制造、涂胶显影、刻蚀、封装等关键工序中，超微颗粒、气流波动都会直接引发晶圆缺陷，影响芯片良率与产品可靠性，洁净环境检测成为芯片生产的关键环节。
Kanomax全新推出的0.1μm尘埃粒子计数器3901，针对半导体产业的严苛洁净需求量身打造，适配半导体晶圆制造、封装测试等不同环节的检测需求，成为现场观众咨询的焦点。
3901可同时监测0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、1.0μm微小颗粒，采用28.3L/min标准流量设计，搭配10.1英寸大屏触控，支持戴手套操作，设备可导入房间地图或自定义房间尺寸生成布局，实现测试点位可视化管理，让布点规划一目了然，杜绝漏测错测。
3901同时支持Wi-Fi远程智控，单机可存储20000条完整测试记录；三电池槽结构保障锂电池续航超5小时，满足长时间连续检测。设备还可选配风速、温湿度、差压传感器及高压扩散器，一机即可完成洁净室综合性能全面验证，让洁净管控更高效、更省心！
Kanomax超小型尘埃粒子计数器3950，专为嵌入组装在半导体制造等装置中设计，致轻、致小，采样量2.83L/min，同时测试0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色触摸屏显示屏，可使用附带软件在PC上显示测试数据。设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口。适配洁净室及高清洁区域在线监测，安装与集成更简便。
远程尘埃粒子计数器3715-06D、3720-06专为洁净室在线监测设计，多种粒径同时测试0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、10.0 μm，采用长寿命激光光源，平均运行时间≥ 10年，3年质保，内置真空泵，具备数据缓存、追溯及冗余备份功能，确保数据完整安全。
尘埃粒子计数器3905采用28.3L/min 大流量采样，同步检测0.3 、0.5、 1.0、 3.0、 5.0、10.0μm 6 种粒径，6.4 英寸触摸屏，内置打印机可直出报告、判定洁净室级别。可外接传感器，存 10000 组数据且支持 U 盘扩容，符合多项标准，准确合规。
在半导体显影、刻蚀、切割等关键制程，对洁净室及设备内部局部风速极为敏感，气流状态直接决定工艺精度与芯片良率。合理的风场可及时带驱散刻胶残渣、刻蚀副产物、切割粉尘等微粒，避免污染物附着晶圆造成制程缺陷；而风速偏高、偏低或分布不均，都会直接导致良率下降。
涂胶显影设备对生产环境的洁净度要求较高，尤其是光刻胶涂布和显影过程中，需要通过风机过滤单元（FFU）高效过滤器（如HEPA或ULPA）提供洁净的空气，使用Kanomax环境测试仪65Ser可有效识别风速异常问题，提前规避线宽偏移、图案畸变等工艺风险，稳定制程气流环境，保障半导体生产精度与运行稳定性。
环境测试仪65Ser，可同时测量风速、温度、湿度、压力、输入管道截面的形状及尺寸从而计算出风量，8种探头可供选择，凭借高精度、探头互换性、稳定性、易操作性及多参数测量显示等特点在半导体制造设备行业得到广泛应用。
Kanomax深耕洁净检测领域，专注洁净环境监测、气流测试等核心应用，旗下尘埃粒子计数器、风速仪等系列产品，广泛应用于半导体行业各类关键检测场景，以专业的检测能力，助力众多半导体企业落实品质管控，守护芯片生产环境安全。
展会火热进行中，Kanomax展台现场宾客云集，专业氛围浓厚，技术团队专业答疑，竭诚接待每一位来访观众。本次展会持续至9月2日，我们在A6-726展位恭候您的到来，一同见证半导体产业蓬勃发展！
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